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オゾン水生成機器の特徴
最大オゾン濃度100 ppm
半導体、液晶、太陽電池などのクリーン仕様(オゾン水生成部はフッ素樹脂パーツで構成)。
約1分以内で最大オゾン濃度に到達。
幅600mm 奥行600mm 高1300mm(25ppm、5L/min仕様)。
幅800mm 奥行1000mm 高1950mm(30ppm、60L/min仕様)。
オゾンガス発生は無声放電方を採用。接続部には金属を使用しておりません。
半導体、液晶用洗浄に最適です。
コンパクト、高性能でありながらMTKは低価格を実現しました。