■ウエハー表面のパーティクル数が極めて少い
　（25nmノード迄対応）

例：付着パーティクル数…10個/W 以下レベル（0.08μｍ以上パーティクル）
（参考）槽式の場合200個/W レベル

■薬液・純水の消費量が少ない

薬液・・・（例）1％dHFの場合 20ℓ/日
純水・・・ウエハ1枚処理あたり 0.5～1ℓ/分

■小さな装置サイズ（お客様ごとにカスタマイズ可能）

8インチウエハ対応の場合
装置本体 1100（巾），800（奥行），1900（高）
薬液供給ユニット 510（巾），800（奥行），1800（高）

■枚葉式特有のオプションが活用できる

・ベルヌイチャックにより極薄基板の処理可能化とウエハ裏面専用処理が可能
・2流体ジェット、ブラシ洗浄が可能　

・裏面ゴミ除去可能　　など。